濾光片作為現代光學(xué)系統的核心元件，其核心功能擁有可選擇性透過(guò)或反射特定波長(cháng)的光，而獲得這種擁有波長(cháng)選擇和反射特性，幾乎完全依賴(lài)于其表面或內部沉積的光學(xué)薄膜層。這些由不同材料、不同厚度精密堆疊而成的薄膜層，利用光的干涉、反射、吸收等原理，形成了形色各樣的光譜濾光片。下面我們將為大家簡(jiǎn)單介紹一些常見(jiàn)的膜層，為大家做一個(gè)簡(jiǎn)單的科普。

一、核心膜層類(lèi)型及其作用

濾光片的功能多樣性，主要源于其膜系設計中包含的不同類(lèi)型膜層組合：

1.增透膜：

作用：核心目標是減少特定波長(cháng)或波段的光在光學(xué)表面的反射損失，從而顯著(zhù)提高透射率。這是應用最廣泛的基礎膜層。

原理：利用單層或多層薄膜的干涉相消效應，使反射光相互抵消。

應用：幾乎存在于所有高質(zhì)量光學(xué)元件（鏡頭、棱鏡、窗口片、傳感器保護窗）的表面。單層增透膜（如MgF2）常用于可見(jiàn)光中心波段，寬帶增透膜（如多層寬帶AR膜）則覆蓋更寬的光譜范圍（如可見(jiàn)光全波段或近紅外）。應用標準關(guān)注最低反射率、工作帶寬、入射角度容忍度以及環(huán)境耐久性。

(長(cháng)波濾光片)

2.截止膜：

作用：構成濾光片的核心功能層，用于實(shí)現光譜的“切割”，分為：

短波通膜：允許短于某一特定波長(cháng)（截止波長(cháng)）的光透過(guò)，反射或吸收長(cháng)波光。

長(cháng)波通膜：允許長(cháng)于某一特定波長(cháng)（截止波長(cháng)）的光透過(guò)，反射或吸收短波光。

帶通膜：允許一個(gè)特定波長(cháng)范圍（通帶）的光透過(guò)，強烈反射或吸收通帶兩側的光。

陷波膜：強烈反射或吸收一個(gè)非常窄的特定波長(cháng)（陷波波長(cháng)），允許其他波長(cháng)透過(guò)。

原理：通過(guò)精心設計的多層高、低折射率材料交替堆疊（如TiO2/SiO2,Ta2O5/SiO2,Nb2O5/SiO2），利用多層干涉效應在特定波長(cháng)區域產(chǎn)生極高的反射率（即截止），而在其他區域保持高透射率。

應用：是各種功能濾光片（熒光濾光片、激光防護鏡、色輪、光譜儀分光元件、生物傳感、機器視覺(jué)分色）的絕對核心。應用標準極其嚴格，重點(diǎn)關(guān)注中心波長(cháng)、截止波長(cháng)、通帶寬度、通帶平均透射率、截止深度、截止帶寬度、通帶波紋、邊緣陡度、角度敏感性、溫度穩定性、激光損傷閾值。

（分光鏡）

分光膜：

作用：將入射光按波長(cháng)或能量比例分成兩束或多束，常見(jiàn)類(lèi)型有：

二向色分光膜：反射某一波段，透射另一波段（是截止膜的一種特殊應用形式）。

中性分光膜：在較寬光譜范圍內，按固定比例（如50:50,70:0）同時(shí)反射和透射入射光，盡量保持光譜中性（不顯色）。

原理：多層干涉膜系設計，精確控制不同波長(cháng)光的反射和透射相位與強度。

應用：顯微鏡、投影儀、激光系統、光學(xué)測量?jì)x器中的分束器、合束器。應用標準強調分光比精度、分光比光譜平坦度（中性）、偏振依賴(lài)性、角度依賴(lài)性、通光孔徑均勻性以及抗激光損傷能力。

（反射濾光片）

4.高反射膜：

作用：在特定波長(cháng)或寬波段實(shí)現極高的反射率（通常>99.9%甚至更高）。

原理：采用兩種折射率差異大的材料（如TiO2/SiO2,Ta2O5/SiO2）組成多層周期性結構（分布式布拉格反射鏡-DBR），利用強干涉效應實(shí)現高反。金屬膜（如鋁、銀、金）也可實(shí)現寬譜高反，但損耗通常高于介質(zhì)膜。

應用：激光諧振腔腔鏡、干涉儀反射鏡、反射式濾光片的基礎、精密反射元件。應用標準核心是峰值反射率、高反射帶寬、吸收/散射損耗、激光損傷閾值（尤其是激光應用）以及膜層應力控制。

（硅反射片）

5.金屬膜：

作用：主要利用金屬本身的寬譜吸收或反射特性。常用金屬包括鋁（Al-紫外到可見(jiàn)高反）、銀（Ag-可見(jiàn)到紅外高反，效率高但易氧化）、金（Au-紅外高反，耐腐蝕）、鉻（Cr-用作中性吸收膜或光闌）。

應用：作為基礎反射層（常與介質(zhì)保護層/增強層結合）、中性密度濾光片、光束擋塊、光闌。應用標準關(guān)注反射/吸收光譜曲線(xiàn)、穩定性（抗氧化）、表面光潔度、附著(zhù)力。

二、膜層結構與材料

膜系結構：

單層膜：結構簡(jiǎn)單，功能有限（如單波長(cháng)增透）。

多層膜：最常見(jiàn)形式，通過(guò)交替沉積高折射率材料和低折射率材料（如TiO2,Ta2O5,Nb2O5/SiO2,MgF2）形成周期性或非周期性結構，實(shí)現復雜的光譜調控。層數從幾層到上百層不等。

漸變折射率膜：折射率在厚度方向連續變化，有助于拓寬帶寬、改善角度特性、減少界面散射。

常用膜層材料：

介質(zhì)材料：二氧化硅、氟化鎂、二氧化鈦、五氧化二鉭、五氧化二鈮、硫化鋅、硒化鋅等。特點(diǎn)是光學(xué)損耗（吸收/散射）低，是實(shí)現高性能截止、增透、高反膜的主力。

金屬材料：鋁、銀、金、鉻、鎳鉻合金等。主要用于寬譜反射或吸收。

材料選擇標準：折射率、透明波段范圍、機械硬度、化學(xué)穩定性、附著(zhù)力、應力特性、沉積工藝兼容性、成本。

（鍍金反射片）

三、設計理論與制造工藝

設計理論：基于薄膜光學(xué)干涉理論，核心是麥克斯韋方程組和電磁邊界條件。常用設計方法包括：

光學(xué)導納匹配法

矢量法

計算機優(yōu)化設計（如Needle法、遺傳算法、模擬退火算法），結合薄膜設計軟件（如TFCalc,EssentialMacleod,FilmStar）進(jìn)行復雜膜系的設計、模擬和優(yōu)化。

關(guān)鍵制造工藝：

物理氣相沉積：

真空熱蒸發(fā)：傳統方法，設備相對簡(jiǎn)單，成本較低，適合中小批量或對均勻性要求不極高的場(chǎng)合。膜層致密度通常不如濺射。

磁控濺射：主流高端工藝。離子轟擊靶材使原子/分子濺射沉積到基底。優(yōu)點(diǎn)：膜層致密、附著(zhù)力強、均勻性好、重復性高、可沉積難熔材料、環(huán)境穩定性?xún)?yōu)異。包括直流濺射、射頻濺射、反應濺射等。

離子束濺射：精度最高、膜層質(zhì)量最優(yōu)（極低散射和吸收、超高激光損傷閾值），但設備昂貴、沉積速率慢，主要用于極高端應用（如引力波探測、極紫外光刻、高功率激光）。

化學(xué)氣相沉積：在特定領(lǐng)域有應用，但不如PVD在光學(xué)薄膜中普遍。

工藝控制核心：膜厚監控精度（光學(xué)監控法、石英晶振法）、沉積速率穩定性、真空度與氣體氛圍控制、基底溫度控制、清潔度控制。

（蒸發(fā)鍍膜）

四、核心應用標準與考量因素

濾光片的性能必須滿(mǎn)足嚴苛的實(shí)際應用要求，主要標準包括：

1.光譜性能：

中心波長(cháng)/截止波長(cháng)：絕對精度和重復性（如±2nm,±5nm）。

帶寬：通帶寬度（FWHM）或截止帶寬度要求。

透射率：通帶平均透射率（>90%,>95%常見(jiàn)）、峰值透射率。

截止深度：截止帶的最小光密度（OD值，如OD4表示透射率<0.01%，OD6<0.0001%）。

邊緣陡度：通帶與截止帶之間過(guò)渡區域的斜率（如1%,5%,10%到90%透射率對應的波長(cháng)間隔），越陡越好。

通帶波紋：通帶內透射率的起伏程度，越小越好（<1%）。

背景抑制/噪聲：在非通帶區域（尤其是帶通濾光片兩側）的殘余透射率。

2.光學(xué)均勻性：濾光片有效孔徑內，光譜特性（尤其是中心波長(cháng)、透射率）的一致性。

（窄帶濾光片參數）

3.角度特性：入射光角度變化對光譜性能（中心波長(cháng)藍移、帶寬變化、透射率變化）的影響。應用需明確工作入射角范圍（0°，5°，10°，45°等）。

4.偏振特性：膜層對不同偏振態(tài)（S光和P光）的響應差異。在非正入射時(shí)尤其顯著(zhù)。應用需明確是否對偏振有要求（消偏振設計或偏振相關(guān)設計）。

5.表面質(zhì)量：

光潔度：表面劃痕、麻點(diǎn)等級（如MIL-PRF-180B的60-40,40-20,10-5）。

面型精度：表面平整度（λ/4,λ/10@62.8nm）。

波前畸變：光透過(guò)濾光片后引入的波前誤差。

6.環(huán)境穩定性與可靠性：

溫度穩定性：中心波長(cháng)、帶寬等參數隨溫度變化的漂移量（如ppm/°C）。高低溫循環(huán)測試。

濕度穩定性：耐濕性測試（如85°C/85%RH）。

機械耐久性：附著(zhù)力（膠帶測試）、耐磨性（摩擦測試）。

化學(xué)穩定性：耐溶劑、耐清潔劑能力。

激光損傷閾值：對激光應用至關(guān)重要。單位面積能承受的最大激光能量密度（J/cm2）或功率密度（W/cm2），與波長(cháng)、脈寬、重復頻率密切相關(guān)。需明確測試標準（如ISO21254）。

7.基底材料與尺寸：玻璃類(lèi)型（光學(xué)玻璃、熔融石英、藍寶石等）、厚度、直徑或長(cháng)寬尺寸、倒角、通光孔徑等需符合系統集成要求。

（濾光片應用領(lǐng)域）

五、應用領(lǐng)域與膜層選擇

濾光片膜層技術(shù)滲透于幾乎所有光學(xué)相關(guān)領(lǐng)域：

成像與攝影：鏡頭增透膜、UV/IR截止濾光片（保護傳感器、提升色彩還原）、中性密度鏡、彩色濾鏡、偏振鏡。

顯示技術(shù)：LCD/OLED顯示屏的彩色濾光片、投影儀中的二向色鏡/色輪。

生物醫學(xué)與生命科學(xué)：熒光顯微鏡的核心——激發(fā)濾光片、發(fā)射濾光片、二向色鏡（精確分離微弱的熒光信號）；流式細胞儀；生化分析儀。

激光技術(shù)：激光諧振腔高反鏡/輸出耦合鏡、激光線(xiàn)分離濾光片、激光防護鏡（OD值要求極高）、倍頻/和頻晶體鍍膜。激光損傷閾值是生命線(xiàn)。

光譜分析：光譜儀中的光柵、棱鏡增透膜；各種窄帶、寬帶帶通濾光片用于波長(cháng)選擇；ND濾光片控制光強。

機器視覺(jué)與工業(yè)檢測：用于增強對比度、消除背景干擾、識別特定顏色或特征的分色濾光片、偏振濾光片。

天文觀(guān)測：抑制光污染、選擇特定天體發(fā)射線(xiàn)的窄帶濾光片；太陽(yáng)觀(guān)測濾光片（要求極高安全性）。

通信與傳感：DWDM光纖通信中的密集波分復用/解復用濾光片；光纖傳感器中的濾波元件。

安防與國防：紅外熱成像鏡頭增透膜；導彈導引頭中的紅外濾光片；激光對抗系統中的防護濾光片（高OD值、高損傷閾值）。

總之，濾光片的膜層是其“靈魂”所在。從最基礎的增透膜到實(shí)現復雜光譜切割的精密截止膜系，再到用于分光、高反的特殊膜層，每一層都經(jīng)過(guò)精心的材料選擇、理論設計和嚴格工藝制造。其性能指標——光譜精度、通帶質(zhì)量、截止深度、陡度、均勻性、角度特性、環(huán)境穩定性以及至關(guān)重要的激光損傷閾值——構成了衡量濾光片價(jià)值的核心應用標準。隨著(zhù)光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，對濾光片膜層性能的要求日益嚴苛，推動(dòng)著(zhù)薄膜材料、設計方法和制造工藝不斷向更高精度、更高穩定性、更復雜功能的方向邁進(jìn)。理解這些微觀(guān)“建筑師”的工作原理和性能要求，是有效選擇和利用濾光片，從而構建高性能光學(xué)系統的基石。